admin 發表於 2023-2-8 16:50:00

深耕半导體設备零部件十余载,富創精密:國產化赋能长期增长動力

公司两次承當國度02重大專項項目,專注金属質料紧密零部件制造技能,形成為了包含工艺零部、布局零部件、模组產物和蔼體管路四大類產物,笼盖客户A、东京電子、日立高新、ASMI等國際知名半导體装备廠商,同時导入北方華創、屹唐股分、中微公司、拓荆科技、華海清科、芯源微、中科信設备、凯世通等海內主流半导體装备廠商。

公司两次承接國度02重大專項項目,研發過渡到工艺開辟自研項目為主。

國度“02重大專項”指《國度中持久科學和技能成长计划纲领(2006-2020)》肯定的16個國度科技重大科技專項中的第2項,即“极大范围集成電路装备及成套工艺”,公司于2011年和2014年接踵牵頭承接两期“IC装备關頭零部件”和“基于焊接和概况涂覆技能的大型铝件制造技能開辟”項目,均經由過程验收。

今朝公司具有紧密機器制造、概况处置工艺、焊接等焦點技能,研發從以承當國度“02重大專項”為主過渡到以工艺開辟自研項目為主。

(1)2008-2014年:工艺渐渐實現國產化自立可控,成為國際大客户A的及格供给商。

公司于2011年承當國度“02重大專項”中的“IC装备關頭零部件集成制造與加工平台”項目,把握了部門紧密零部件的制造技能。

從2011-2014年,公司向北方微電子、上海微電子、拓荆科技等10余家企業交付了1000余种紧密零部件,并于2011年樂成向客户A交付了首款紧密零部件產物,成為其及格供给商;

(2)2014-2018年:快速成长阶段,部門技能到达主流國際客户尺度。

2014年,公司承接“02重大專項”中的“基于焊接和概况涂覆技能的大型铝件制造技能開辟”項目。针對22nm如下的大型铝合金零部件超强耐腐化、特种焊接技能財產化利用,公司具有完备的复合焊接工艺,紧密零部件的焊接及概况处置特种工艺技能到达主流國際客户尺度。

公司于2016年景為客户A的计谋供给商,TEL、VAT等的供给商,并為北方華創、中科信設备、拓荆科技等海內装备廠商供给紧密零部件的研發及量產配套辦事;

(3)2018年至今:高速成长阶段,延续扩展產能。

自2018年以来,公司進入日立高新、ASMI等多個装备龙頭的供给链系统,并踊跃開辟海內市場,內销收入范围不竭上升。公司气體管路和模组功效部件制造能力逐步完美,并在江苏南通和北京亦庄等地踊跃扩展產能。

公司工艺零部件、布局零部件、气體管路和模组產物四大產物線笼盖焦點環節的半导體装备,把握了紧密機器制造技能、概况处置特种工艺技能和焊接焦點技能。

公司產物線笼盖刻蚀、薄膜沉积、涂胶顯影、CMP、离子注入等環節,部門產物已用于7nm前道装备中。

公司現實節制報酬公司董事长,获多家知名一级本錢注資。

公司第一大股东為沈阳先辈,持股比例為22.55%,為現實節制人郑廣文用于半导體財產投資的平台,沈阳先辈同時也是海內半导體涂胶顯影装备龙頭芯源微的第一大股东;公司現實節制報酬郑廣文,直接持股6.38%,此外經由過程沈阳先辈及員工持股平台間接持股;公司具有宁波富芯、宁波良芯、宁波芯芯三個員工持股平台,合计持股比例為5.1%;此外,公司還具有宁波祥浦,辽宁科發,盐城燕舞等多名一级的投資機構。

公司具有7名焦點技能职員,高管具有多年装备零部件開辟或財產投資履历。

①郑廣文:董事长&总司理,2003年因中科院沈阳主動化所旗下沈阳先辈引入投資者,郑廣文承認中科院沈自所的相干技能資本和財產化機遇,從而入股沈阳先辈,營業渐渐拓展至高端紧密制造范畴。2006年5月至今,郑廣文任芯源微董事;2009年11月至今,任富創有限/富創紧密董事长、总司理;

②倪世文:副总司理、焦點技能职員之一,具有超23年的半导體装备紧密零部件制造開辟及出產辦理履历,是公司技能、產物研發賣力人。在公司承當两項“02重大專項”使命中,倪世文主扶引進柔性出產線制造模式并實現装备紧密零部件出產的智能制造模式;在新品開辟及大型腔體加工范畴,均作為重要賣力人樂成開辟紧密零部件內侧加工和匀气盘加工等技能;

③李吉亮:高档技能專家(紧密機器制造標的目的),具有15年的半导體装备紧密零部件開辟履历,并作為項目重要賣力人前後研發出复合曲面連體腔加工技能、铝合金匀气盘微孔高精加工技能、不锈鋼超高孔壁粗拙度加工技能、密封面免抛光成型加工技能,設計并創建了卧加非反轉展轉中間肆意角度加工的坐標系。公司其他焦點技能职員别离面向紧密機器制造、概况处置、焊接標的目的。

公司員工数目快速增加,研發投入逐年晋升。

因為行業景气宇飞腾,公司定单及營收范围高速增加,同時南通、北京等地產能加快扶植,公司提進步行人材储蓄,員工数目快速增加。

截至2021年末,員工总数达1088人,较2020末增长475人;公司不竭加大研發投入,而且跟着2021年事迹晋升,公司大幅加大研發投入。

公司针對将来市場對高端装备的大量需求,加大紧密零部件的開辟力度,特别對匀气盘、各种腔體和腔內零部件及气體流速阀門等焦點產物不竭提高產物的耐腐化性、密封性、绝缘性及轮回寿命,不竭提高加工工艺的紧密度和干净度。

二、各產物線收入快速增加、事迹不竭開释

行業保持高景气同時装备國產化率晋升,公司比年来收入連结高增加。

在行業高景气與半导體装备國產化趋向下,公司工艺技能、行業口碑、產物質量和交付能力不竭获得境表里客户承認,收入連结逐年高速增加态势,從2018年的2.25亿元增加至2021年的8.43亿元,CAGR為55.3%;22H1公司產物供不该求,跟着產能延续晋升,產物進一步放量,公司估计2022前三季度收入9.8-10.3亿元,同比+71-80%,保持高增加态势。截至2022年5月尾,公司具备明白根据的還没有交付在手定单约9.5亿元,在手定单较為丰满。

公司布局零部件占比最高,气體管路產物增速最快。

受益于行業景气宇飞腾與國產装备突起,公司各產物線連结较高增速。

從產物布局来看,公司2021年用于半导體装备的零部件收入占比达88%,此中布局零部件收入占比最高為42.4%,但气體管路產物增速最快,2021年收入同比+134%。

跟着工艺技能和產物布局日益完美,多种模组和蔼體管路產物經由過程客户A、北方華創等焦點客户認證後批量供貨,该两類產物合计占比從2019年的25.8%晋升至2021年的36%。

咱們對各產物線举行了量價瓜葛拆分,分產物来看:

1) 工艺零部件:下流兴旺需求驱動销量和收入高速增加,均匀单價遠超布局零部件。

跟着下流景气宇自2019年以来渐渐规复,公司收入在2020和2021年高速增加,從2018年的0.71亿元增加至2021年的1.78亿元,CAGR為35.6%。公司工艺零部件品類多、分歧產物代價差别大,既包含单價约20万元的大型腔體,也包含单價约1000元的機器手部件,因為技能壁垒相较布局君綺評價,零部件较高,是以均匀单價较贵超1万元。

因為公司經由過程下流 客户認證的產物品類不竭增多,承接分歧客户定制化定单致使的產物布局變革导致工艺零部件单價顯現颠簸,產物单價并不是焦點身分。

此外,工艺零部件客户之外销為主,采纳美元報價,2021年人民币升值也對工艺零部件人民币均匀单價同比下滑發生必定影响;

2) 布局零部件:收入趋向根基與工艺零部件一致但增速更快,因為工艺简略是以单價较低。

布局零部件是公司占比最高的產物線,收入趋向與工艺零部件雷同,但增速更快,從2018年的1.23亿元增加至2021年的3.5亿元,CAGR為42%。

该產物出產流程及工艺請求相對于工艺零部件简略,均匀单價相對于较低,不足1000元,但跟着公司投入高端数控装备、晋升加工能力,更多承接布局繁杂、加工精度高的高单價產物(如托盘轴、定子冷却套、流量计阀块等),往年均匀单價呈上升趋向;

3) 模组產物:新品不竭拓展同時向高端產物成长,產物因為必要外購原質料而单價较高。

公司行業职位地方不竭提高,從供给简略模组成长到组装繁杂腔體模组和刻蚀阀體模组,再到把握先辈制程的半导體气柜模组的設計及制造能力,多品類不竭得到認證并量產。

公司模组產物收入從2018年的0.23亿元快速增加至2021年的1.6亿元,CAGR高达90%。公司供给模组產物需外購電子尺度件和機器尺度件,是以產物单價遠高于其他品類,2021年单價靠近3万元。跟着產物不竭获得客户承認,產物附加值和集成度不竭晋升(公司向客户A供给超10万元单價的刻蚀阀體模组),均匀单價呈总體上升趋向,但2021年单價同比下滑,重要系总體產物線销量大幅晋升,高单價刻蚀阀體模组销量占比有所降低;

4) 气體管路:增速最快,均匀单價随產物布局變革。

多种產物經由過程客户A、北方華創等焦點客户認證後,延续量產供貨,销量和收入高速增加,市場份额不竭扩展,2021年气體管路收入约為2019年的25倍;公司既可供给气源到气柜的多量量干净管路(工艺相對于简略、单價相對于较低、长度相對于较短),也可供给气柜到反响腔的超高干净管路(工艺相對于繁杂、单價相對于较高、长度相對于较长),均匀单價颠簸取决于分歧類型產物销量布局的變革。

工艺及布局零部件和蔼體管路產物產能操纵率在比年来快速晋升。分產物来看:

1) 工艺及布局零部件:產能操纵率随行業高景气宇晋升。

随紧密機器制造是工艺及布局零部件出產流程的關頭供需之一,利用關頭装备包含五轴加工中間、卧式加工中間和立式加工中間等,關頭装备是影响產能首要身分。

公司2017年起頭预投產能,2019年大量装备验收轉固,但受行業景气宇颠簸及中美商業磨擦影响,下流需求不及预期,產能操纵率较低;跟着行業景气宇晋升,2020起頭公司定单快速增加,產能操纵率渐渐晋升,2021年根基到达“满產”;

2) 模组產物:不合用產能操纵率指標。

出產流程重要為装置和测试,具有機動性,產物具有多品种、定制化特色,难以利用靜脈曲張噴劑,单一指標权衡產能操纵率;

3) 气體管路:產能操纵率较低,随營業范围扩展延续攀升。

公司于2018年拓展營業并预投了装备產能,成长早期產能操纵率较低;跟着產物得到焦點客户認證,營業范围不竭扩展,產能操纵率顯著晋升。

公司客户集中度高,內销占比逐年晋升。

從客户布局来看,公司积年收入依靠美國大客户A,是中國大陆少数進入客户A系统的供给商,终极销往客户A的收入占比從2019年的75.2%逐步低落至2021年的58%。

從內销環境来看,陪伴比年来國產装备廠商的快速突起,公司成為北方華創、中微公司、華海清科、拓荆科技、屹唐股分、中科信設备等海內主流装备龙頭的及格供给商,內销收入從2019年的3825万元增加至2021年的3.25亿元,收入占比從2019年的15.3%快速晋升至2021年的39.2%。

行業景气宇提高带来產能操纵率上升,公司2020和2021年毛利率相较2019年快速提高。

2019年因為行業景气宇孱弱叠加昔時预投產能轉固大幅增长折旧與摊销,公司產能操纵率较低,各產物線毛利率处于较低程度;2020和2021年,跟着行業景气宇晋升,公司產能操纵率提高,毛利率相较2019年大幅提高;22H1,公司毛利率达33.57%。

各產物線毛利率除气體管路外均较為靠近,重要受行業景气宇、范围效應、產物单價、表里销比例等影响。

1)工艺和布局零部件:內销比例提高,2021年毛利率有所下滑。

两条產物線毛利率變更趋向根基一致,2019年行業景气宇下行,產能操纵率降低,均匀单元本錢大幅上升,毛利率同比下滑;公司于2019年完成扩產後,2020年固定資產轉固放缓,產能操纵率同比大幅晋升,均匀单元本錢同比大幅降低,范围效應毛利率敏捷回升;2021年,因為內销收入占比晋升,斟酌支撑海內半导體装备供给,接管內销產物的低毛利率订價,是以毛利率同比降低;

2)模组產物:毛利率相對于较低,范围效應及產物布局不竭改良動員毛利率逐步晋升。

公司模组產物必要外購原質料举行组装,是以毛利率相较其他產物線较低。

模组產物属于高度定制化產物,2018年处于首件研發和小批量验證阶段,斟酌抵偿前期研發投入,毛利率较高;自2019年以来,公司给客户A供貨的刻蚀阀體模组產物(占模组產物收入45%以上)销量從2019年的174件增加至2021年的832件,单元本錢随范围效應晋升而降低;另外一方面,公司模组產物用于非半导體装备的比例(從2019年36.2%降低至2021年的8.2%)逐年降低,產物附加值不竭提高,動員公司毛利率晋升;

3)气體管路:范围效應呈現,毛利率趋于不乱。

2018和2019年处于小批量验證阶段,產能操纵率较低,毛利率為负;自2020年以来,跟着產物經由過程重要客户验證,范围效應呈現,毛利率趋于不乱。

公司2020年以来時代用度率较為安稳,研發用度率高于同行可比公司。

2018-2020年,公司時代用度率陪伴范围化效應顯現总體下滑态势。

自2020年以来,公司各項用度率总體较為安稳;2021年,跟着事迹晋升,公司大幅增长研發投入,為後续成长提早工艺储蓄。

公司积年研發用度率遠高于可比公司,重要系一方面可比公司范围弘遠于公司,另外一方面公司不竭優化提高工艺程度和新產物開辟。

比年来公司红利能力大幅晋升,2022年至今各季度事迹連结同環比高增加态势。

受行業景气宇影响,2019年公司產能操纵率和事迹呈現必定水平吃亏;比年来陪伴行業景气宇向好,公司红利能力大幅晋升,2020年公司實現大幅扭亏為盈,2021年归母净利润和扣非归母净利润别离同比+35.3%和136.8%;進入2022年以来,公司季度净利润連结同比高增加,重要系:

1)行業景气宇延续兴旺,公司產物供不该求,跟着產能延续晋升,公司事迹進一步開释;

2)公司產能严重,聚焦高附加值產物定单,综合毛利率同比晋升;

3)范围化效應凸顯,時代用度率逐步降低;

公司估计2022年前三季度實現归母净利润1.62-1.75亿元,同比+98%-113%,估计扣非归母净利润為1.23-1.33亿元,同比+132%-150%;從22Q3单季度来看,按指引中位数计较,22Q3估计归母净利润為0.68亿元,同比+78%/環比+14.7%,扣非归母净利润為0.53亿元,同比+73.7%/環比+23.5%,继续連结同環比高增加态势。

2、全世界装备零部件行業近600亿美元空間,國產化率亟待晋升

一、零部件承载半导體装备大部門焦點技能,顯現多品种、小批量、定制化特色

紧密零部件是半导體装备焦點技能的直接保障,是半导體装备行業的支持。

半导體行業遵守“一代技能、一代工艺、一代装备”的纪律,半导體装备是持续摩尔定律的瓶颈和關頭。

半导體装备廠商常常以轻資產模式運營,绝大部門焦點技能常常必要物化在紧密零部件上,或以紧密零部件為载體来實現,是以紧密零部件是半导體焦點技能的直接保障。

半导體装备的進级迭代很大水平上依靠于紧密零部件技能起首冲破,半导體装备的交付也很大水平上取决于紧密零部件的供给能力。

紧密零部件针對分歧装备定制化特色较着,包含機器類、電气類、電機一體類、气體/液體/真空體系類、仪器仪表類、光學類等细分品類。

针對分歧装备,紧密零部件种類浩繁,此中機器、電气、電機一體類、仪器仪表類可用于所有装备,起到支持、傳输、節制、监测等機器或電气類功效,占装备本錢比例最低仅1-3%(仪器仪表類),最高可达40%摆布;气體/液體/真空體系類重要起到傳输气體和液體并連结真空的感化,可用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入等干法装备,和CMP、洗濯、去胶等湿法装备;光學類零部件最典范利用場景為光刻機及量测装备,起到節制和傳输光源的感化,壁垒相對于较高。

因為分歧装备技能特色差别较大,是以分歧装备中分歧种類零部件本錢的占比差别较大。

1)機器類零部件利用最為遍及,在装备本錢中占比最高。

因為各類腔體、接頭、泵等機器類零部件起到關頭的支持、傳输、節制等感化,是以在湿法與干法装备中利用最為遍及,按照拓荆科技/華海清科/屹唐/盛美上海的零部件采購比例,機器類零部件在采購本錢中占比均為30%+;

2)電气類零部件必不成少,在等离子體装备中利用比例大大提高。

電气類零部件包含射頻電源、射頻匹配器等,因為装备几近均必要通電利用,是以電气類零部件也必不成少。在等离子體相干的装备,如PECVD、等离子體刻蚀機中,必要在電感線圈上施加高頻旌旗燈号,進而在電感線圈內部感到出電場,加快等离子體中的電子至更高的能量,是以電气類感化更加關頭,比方拓荆科技電气類采購比例為27%,遠高于華海清科、盛美上海等其他非等离子體装备廠商;

3)气體/液體元件在湿法装备中占比更高。

常見的气體元件包含气柜、气體管路等,用于各類必要通气的装备中;液路元件包含阀門、流量節制器等,用于節制液體的流量等。比方,盛美上海采纳兆声波洗濯技能,事情道理是經由過程兆声波在傳输的液體介質中發生周期性的紧缩或拉伸,液领會被拉開構成一個空穴,液體中消融的气體向空穴中分散,進而發生顯著的洗濯结果;華海清科CMP装备也是湿法装备的一种,事情道理是晶圆概况質料與研磨液產生化學反响,在抛秃顶的感化下举行抛光,關頭在于研磨液和抛秃顶的選擇。是以華海清科和盛美的气體/液路元件占比遠高于拓荆科技、屹唐股分等以干法装备為主的廠商;

4)真空體系用于含真空腔的装备中。

部門装备如PECVD,在利用場景中必要連结真空状况,是以會配备真空腔,拓荆科技21Q1-Q3真空體系占比约莫7%,而因為華海清科CMP装备不配备真空腔,是以不必要真空體系相干零部件;

5)運送體系:用于晶圆、气體運送等,干法/湿法装备均遍及利用。

常見的運送體系零部件包含機器手等,固然不介入晶圆相干的反响,但因為對晶圆出產效力發生首要影响,是以遍及利用;

6)光學零部件:包含透镜等,重要用于光刻、量测装备等特定場景,在其他干法/湿法装备中利用较少。

咱們經由過程拆解几類典范的干法/湿法/光學装备,来先容此中部門焦點零部件的感化,详细以下:

1)刻蚀、薄膜沉积相干等离子反响装备:

利用傳输體系、反响腔、工期體系、加热冷却體系等零部件,此中反响腔是焦點零部件。

反响腔體對反响速度、平均性、正确度都有直接影响,反响腔內包含反响電极、射頻单位、静電吸盘E-chuck、控温體系、供气體系等;供气體系感化是向腔體內運送各類反响气體,經由過程压力節制器(PC)和質量流量節制器(MFC)精准的節制气體的流速和流量;真空體系有两套,别离用于预真空室和反响腔體,焦點零部件包含真空阀、真空泵、密封件等;傳输體系支撑全部反响進程,属于非真空反响部門,晶圆由EFEM傳送進入刻蚀機,尔後經過機器手通報進入真空情况,继而送入反响腔體。

2)热处置装备:以快速退火炉為例,重要由真空腔室、加热室、進气體系、真空體系、温度節制體系等几部門構成。热处置體系包含燈胆、激光和加热器等。

3)CMP装备:包含抛光、洗濯、傳送三大模块,此中抛光模块為焦點模块。晶圆經由過程傳送模块運送至抛光盘举行功课,以後继续被傳送装配轉移举行洗濯。CMP的抛光事情進程中,抛秃顶以必定压力将晶圆按压在概况粗拙的抛光垫,經由過程抛光液腐化、微粒磨擦對晶圆概况举行物理、化學方法的平展化。

4)洗濯、去胶装备等:與CMP雷同,湿法装备不具有等离子真空反响腔,機器件和液路元件占比力高。

5)光刻装备:重要由真空模块、傳送模块、光學模块構成。光學模块包含光源體系、透镜體系、淹没體系等。晶圆和掩膜版在光刻機中的傳输必要及其精准的傳输節制體系,因為所有气體城市吸取13.5nm的光源,為包管EUV不乱事情,光刻機的真空情况請求也十分严苛。

二、2022年全世界半导體装备零部件范围约靠近600亿美元,大部門零部件被海外垄断

全数品類装备零部件占全世界半导體装备市場50%以上,2022年全世界市場空間有望超600亿美元。

重要紧密零部件包括工艺及布局零部件、气體管路、模组產物,也包括仪器仪表(如气體流量计燈)、電气類(如射頻電源等)、光學類(光學元件、光栅等)產物。按照國表里半导體装备廠商公然信息,装备本錢中一般90%以上為原質料(即分歧類型的紧密零部件產物),斟酌國際半导體装备公司毛利率一般在40-45%摆布,是以全数紧密零部件市場约為全世界半导體装备市場范围的50-55%。

按照SEMI数据及展望,2021年全世界半导體装备市場空間為1026亿美元,估计2022年约莫1200美元摆布,對應全世界半导體装备零部件市場空間有望靠近600亿美元。

2023年全世界装备行業增速估计较着放缓,海內下流晶圆產線本錢付出增加可能性较小。

SEMI估计前道装备付出在2022年同比增加18%,2023年同比增加3.2%,分种别来看,2022年Foundry&logic装备市場范围估计同比+20.6%至552亿美元,2023年估计同比+7.9%至595亿美元;2022年DRAM装备市場范围估计同比+8%至171亿美元,NAND装备市場范围估计同比+6.8%至211亿美元,但DRAM和NAND装备付出估计在2023年别离下滑7.7%至2.4%。海內下流晶圆產線固然逆势扩產,但斟酌到今朝中芯國際等產線產能操纵率有所下滑,虽然咱們估计2023年海內晶圆產線本錢付出同比增加可能性较小。

装备零部件下流市場根基被海外廠商垄断。

從竞争款式来看,零部件市場重要為海外垄断,按照VLSI Research,2021年全世界前十大装备零部件廠商均為外洋廠商,部門细分品類海外廠商占比50%以上乃至高达90%,今朝中國半导體装备零部件廠商也之外資控股公司為主,海內范围较大的廠商包含中國台灣的京鼎紧密和日本Ferrotec等外資企業的境內人公司。

装备零部件技能壁垒较高,除機器類以外各個零部件國產化率亟待晋升。

装备零部件出產工艺交融紧密機器制造、工程質料、概况处置特种工艺、電子機電整合及工程設計等多個范畴和學科,是半导體装备制造環節中难度较大、技能含量较高的環節之一,也是海內半导體装备公司“洽商”的環節之一,技能壁垒较高。

海內廠商在機器類重要產物和技能實現了冲破和國產替换,國產化率相對于较高,但一方面機器類的高端產物國產化率仍较低,另外一方面電气、電機一體類、气體/液體/真空體系類、仪器仪表類、光學類等其他品類零部件國產化率总體处于较低程度,重要系學科與技能堆集相對于较晚,同時海內配套装备成长也相對于较晚。

3、四大產物線渐渐冲破外洋垄断,技能气力不竭晋升

一、2022年公司產物笼盖市場空間估计超250亿美元,市占率晋升空間庞大

公司四大紧密零部件產物線定制化特色较着,验證及出產周期较长。

公司產物為用于半导體和泛半导體装备及其他范畴的紧密零部件,详细包含工艺零部件、布局零部件、模组產物和蔼體管路。

公司產物特色為多品种、小批量、定制化,產物需出產與验證周期延续時候较长,以客户A為例,公司產物起首必要颠末質量認證系统,認證周期约為1年;經由過程質量認證系统後,產物必要颠末工艺能力和機能指標認證等特种工艺認證,该認證周期约為1年;颠末两轮認證後,公司得到首件试制資历,首件样品交付并經由過程客户验收後才具有批量出產資历,首件试制及验收周期通常是半年摆布;公司采纳以销定產模式,单個批次出產周期一般在5至6周。

1)工艺零部件:與晶圆直接接触或直接介入晶圆反响,包含過渡腔、傳输腔、反响腔、內衬和匀气盘。工艺零部件起到耽误装备寿命、晋升晶圆制造良率的感化,具有高紧密、高干净、超强耐腐化、耐击穿電压等特色;焦點技能包含紧密機器制造技能、概况处置特种工艺技能及焊接技能,公司分歧腔體、內衬和匀气盘的制造流程差别在于分歧概况处置特种工艺和紧密機器制造工艺的選擇和组合;

2)布局零部件:一般起毗連、制程和冷却等感化,但一般不直接介入晶圆接触或反响,包含托盘轴、铸鋼平台、流量计底座、定子冷却套、冷却板。布局零部件對機器加工的精度(平面度、平行度和概况粗拙度等機能)請求较高,部門布局零部件基于定制化請求一样必要具有高紧密、高干净、超强耐腐化、耐击穿電压等特色,工艺制程相對于简略;制造技能重要包含紧密機器制造工艺及焊接技能,也必要相對于简略的概况处置特种工艺,制造流程差别重要在于紧密機器制造工艺的選擇和設定;

3)气體管路:用于特别工艺气體傳送,是毗連發源到反响腔的傳输管道。气體管路對管路的密封性、干净度及耐腐化能力有较高請求,工艺制程相對于尺度化;重要應用焊接技能,部門產物存在少许紧密機器制造和概况处置特种工艺;

4)模组產物:将公司自有工艺零部件、布局零部件、气體管路和外購的電子及機器尺度件举行装置,包含离子注入機模组、傳输腔模组、過渡腔模组、刻蚀阀體模组、气柜模组。公司不竭增强現有技能气力,在研气體流量節制器基座、高端管路制造、質料主動化焊接等工艺技能,同時研發原子层沉积零部件庇护薄膜、高干净度高真空半导體門阀等新品;利用工艺除工艺和布局零部件制造技能外,還触及装置和测试,按照分歧模组產物组装差别必要經由過程分歧的测试,如氦气测试、功效测试、保压测试、颗粒测试;

2022年公司產物線笼盖市場空間估计高达270亿美元。

起首,以客户装备售價為根本,按照本身產物代價和對應半导體装备利用本身產物数目估算重要產物占下流分歧類型装备售價比例區間;其次,按照公司公然表露信息,依照采購占比*(1-毛利率)*原質料占本錢比例估算公司重要產物占分歧装备售價的比例區間;最後,整合前两步得到的區間,按中值计较公司重要產物占下流分歧装备售價的比例,按照SEMI颁布的2020年下流装备市場空間计较得出公司重要產物面向的市場空間為160亿美元。

按照SEMI数据,斟酌到2021年和2022年全世界装备市場空間估计别离增加44%和18%,假如各比例稳定,咱們估计公司2022年重要產物笼盖的市場空間高达约270亿美元。

公司持久深度绑定客户A,客户不竭拓展,持久市占率不竭晋升。

公司為中國大陆少数進入客户A的供给商,因為半导體廠商所選用的紧密零部件請求极其刻薄,一旦肯定互助瓜葛常常持久深度绑定,公司基于與客户A的互助瓜葛不竭拓展產物品類和下流客户。

今朝,公司其他國際客户包含东京電子、日立高新、ASMI等,海內客户包含北方華創、屹唐股分、中微公司、拓荆科技、華海清科、芯源微、中科信設备、凯世通等。

按照咱們前文所述,公司客户A收入占比逐年低落,中國大陆客户營收比例不竭提高,表現公司深度受益于本轮海內装备國產替换與高景气行情,產物在海內装备客户端放量。依照2021年各產物對應全世界市場范围和公司收入计较,公司今朝全世界市占率估计不足1%,持久陪伴零部件國產化率晋升,份额仍有较大晋升空間。

二、焦點技能海內领先,各產物線技能气力不竭晋升

公司在紧密機器制造、概况处置特种工艺、焊接等環節具有领先的焦點技能能力。公司焦點技能包含紧密機器制造、概况处置特种工艺或焊接工序,充實用于工艺零部件、布局零部件和蔼體管路產物,模组產物均包括公司便宜的紧密零部件產物,响應便宜件已與外購機器尺度件和電子尺度件充實連系;此外,公司可自立設計或介入設計部門模组產物,如用于先辈制程的IC气柜模组。

1)紧密機器制造:具有高紧密多工位繁杂型面制造技能、高紧密微孔制造技能、不锈鋼超高光洁度制造技能。

紧密機器制造技能連系質料科學和質料力學。旨在知足装备廠商功效性需求的同時,經由過程機器制造精度和所加工質料的精准把控,晋升半导體装备的总體機能及利用寿命。公司通太高端数控機床的装备選型、加工流程設計、紧密加工步伐的自立二次開辟、和加工刀具、夹具、辅助切削液的自立設計和调配,可實現產物极高的工艺程度;

2)概况处置特种工艺:具有耐腐化阳极氧化技能、高干净度紧密洗濯技能、高機能化學镀镍技能、等离子喷涂氧化钇涂层技能。概况处置特种工艺是實現紧密零部件的超干净、超强耐腐化、耐击穿電压等機能的關頭工序,分為干式和湿式制程,干式制程包含抛光、喷砂及喷涂等,湿式制程包含化學洗濯、阳极氧化、化學镀镍及電解抛光。公司具有自立專利技能和know-how,可以或许實現包含化學洗濯、阳极氧化、電解抛光、電镀镍、化學镀镍和陶瓷喷涂等多种高干净、超强耐腐化、耐击穿電压的工艺技能及检测能力;

3)焊接技能:具有電子束焊接、激光焊接、主動超干净管路焊接等技能。焊接技能旨在實現紧密零部件焊接區域的零气孔、零裂纹、零瑕疵。包管装备零部件的產物機能及利用寿命,實現真空情况下的半导體装备工艺制程的不乱。公司可针對铝合金、不锈鋼、高温合金、哈氏合金、铼合金等多种金属質料举行焊接,并针對客户零部件產物特色拔取符合焊接方法。

公司金属機器類零部件技能气力较强,处于海內领先程度。

公司專注于金属機器零部件(包含工艺及布局零部件)、不触及非金属機器零部件,已進入國際半导體装备廠商供给系统,可實現部門用于7nm前道装备零部件的量產,直接與國際廠商竞争。海內其他友商重要供给海內半导體装备廠商,相较而言公司技能处于海內领先程度。

公司電機一體類產物與海內友商差别化竞争,與國際廠商比拟另有必定差距。

電機一體類(包含非气柜模组的模组類產物)品類繁多,公司和華卓精科、新松呆板人和京仪主動化等海內廠商產物品類各有偏重。公司今朝產物重要包含腔體模组、刻蚀阀體模组等功效相對于简略模组產物,不触及海內其他廠商產物,和京鼎紧密等國際廠商比拟仍有必定差距。

公司气體/液體/真空體系類產物進入國際装备廠商,但工艺制程和營業體量與國際廠商比拟另有差距。公司气體/液體/真空體系類產物(對應气體管路和蔼柜模组產物)和海內新莱應材、万業企業(收購的Compart System)存在必定竞争瓜葛,公司產物進入國際半导體装备廠商,并可為海內廠商供给自立設計的气柜模组產物,但技能程度相较國際廠商有必定差距。

公司持久產物渐渐高端化,用于7nm及如下制程產物比例估计不竭增加。

從7nm工艺制程起頭,半导體@装%gJ352%备對紧%xC6M7%密@零部件干净度請求更高,金属零部件在反响中發生的金属粒子将影响半导體装备制造良率,响應產物必要利用新的特种工艺。

今朝公司7nm及如下制程產物占比力小,2021年,刊行人7纳米制程零部件收入金额和占比低落,重要系:起首,2020年TOCALO向公司采購量较大,其均衡本身库存和下流需求,昔時削減了對公司响應型号內衬(均為7纳米)的采購。其次,公司內销收入昔時大幅晋升,內销產物均利用于7纳米以上制程。斟酌到公司產物技能继续成长,咱們估计7nm及如下制程產物比例将不竭提高。

三、持久扩產计划清楚,產能渐渐開释将進献公司将来收入增加動力

公司產能供不该求,持久產能计划清楚。

公司現有沈阳原廠房,跟着行業景气宇上升,產能操纵率超90%,定单供不该求。今朝新廠房尚在@扶%16v57%植或還%16XH8%没%16XH8%有@达產,公司原廠房延续革新扩產,包管定单交付。

持久来看,按照公司產能扩建计划,南通、沈阳、北京新廠房将别离于2025年11月、2026年11月、2027年1月彻底达產,估计达產後年收入别离為20亿元、5亿元、7.5亿元,此外公司專用范畴紧密零部件產能扶植項目估计于2030年12月彻底达產,估计达產後年收入為10亿元。

公司此前拟募資16亿元,現實募資35亿元,IPO募資扩產項目估计2025年彻底达產。

公司此前拟募資16亿元 ,現實募資台北汽車借款,35亿元,超募19亿元,此前估计募資中10亿元拟用于“集成電路設备零部件全工艺智能制造出產基地”項目,經由過程紧密機器制造、焊接、概况处置特种工艺及紧密零部件、气體管路和模组產物出產線,搭建智能信息化辦理平台,扩展現有產物產能。項目扶植期估计2年,地址位于江苏南通高新技能財產開辟區,建成後估计另需3年(到2025年)彻底投產;募資其余6亿元用于弥補活動資金。

本次募資項目在彻底达產後估计構成20亿元的收入增量,此中工艺零部件、布局零部件(含钣金)、模组產物、气體管路泡腳丸,(對外贩賣部門)收入增量估计别离為2.八、7.二、8.四、1.6亿元。

4、陈述总结

一、根基假如與红利展望

(1)工艺及布局零部件

出產流程中,紧密機器制造是關頭工序之一,该工序所需利用的關頭装备包含五轴加工中間、卧式加工中間和立式加工中間等。關頭装备是影响公司工艺及布局零部件產能的首要身分,關頭装备台数增加與公司產能扩大及開释節拍瓜葛较大,是以咱們依照產能開释節拍對公司收入举行展望。

公司沈阳原廠房產能操纵率在2021年底已到达90%以上,靠近满载,2022年已有较大產能缺口,估计到2023年沈阳原廠房仅能知足包含客户A等境外客户的定单需求,没法保障海內客户。公司同時在南通、北京踊跃扶植新廠房,但產能估计到2023年10月渐渐開释,是以咱們估计2022和2023年公司工艺及布局零部件收入增速有所回落,到2024年收入同比增速受益于產能開释呈現晋升。

同時,积年工艺零部件收入占比约莫33-37%,同時斟酌到2025年公司估计工艺零部件和布局零部件新增收入别离為2.8亿元和7.2亿元,工艺零部件占比為28%,是以咱們假如2022-2024年工艺零部件收入占比逐年低落,别离為35%/33%/31%。

综上所述,咱們假如2022/2023/2024年公司工艺零部件收入别离為2.87/3.65/5.08亿元,布局零部件收入别离為5.33/7.41/11.30亿元,总體增速為54.7%/34.7%/48.2%。

(2)气體管路產物

公司气體管路產物重要利用轨道焊接装备和焊接技能,同工艺及布局零部件雷同,關頭装备台数一样是影响公司產能和收入的首要身分。

因為焊接装备相對于采購本錢较低,斟酌代價和起订量門坎等身分,公司一次性投入6台轨道焊機,斟酌到公司南通募投項目估计新增焊機装备20台,是以咱們估计公司產能渐渐晋升;公司轨道焊機装备產能操纵率快速提高,2021年產能操纵率為63.2%,咱們估计跟着公司營業范围不竭扩展,產能操纵率仍有较大晋升空間。

综上所述,咱們估计气體管路產物連结较好增加态势,估计2022/2023/2024年公司气體管路產物收入别离為3.15/4.95/7.13亿元,增速為128.5%/57.4%/43.8%。

(3)模组產物

公司模组產物出產進程较為機動,不合用于產能觀點,是以咱們以销量和单價来展望公司将来收入。

①销量:公司行業职位地方不竭提高,新品延续验證并實現量產,在2021年销量同比大幅增加75%。斟酌到公司當前產能紧缺,募投項目估计2年建成,以後另需3年彻底投產(到2025年),南通項目估计于2023年11月完成装备调试,是以假如公司在2022和2023年销量增速有所回落,在2024年销量大幅晋升;

②单價:公司2021年单價同比降低,重要系总體產物線销量大幅上升,而高单價刻蚀阀體模组(单價超10万元)销量占比有所降低(從2019年)。斟酌到公司单價较高的气柜模组產物占比力小,而公司估计将来将鼎力成长气柜營業(模组產物的一部門),估计气體管路產量的70-80%将被內部范畴出產气柜產物,是以咱們估计公司单價有望在将来几年顯著晋升。

综上所述,咱們認為公司2022/2023/2024年模组產物收入别离為2.58/3.83/7.32亿元,增速别离為59.7%/49.0%/90.6%。

(4)其他營業

公司其他營業重要為質料及废物贩賣收入和租赁收入,占營收比例较小,2021年收入增速為66%,斟酌產能開释節拍,咱們守旧估计2022/2023/2024年收入增速别离為45%/30%/70%。

综上所述,咱們認為公司2022/2023/2024年总體收入為14.13/20.11/31.26亿元,增速為67.6%/42.3%/55.5%。

(5)毛利率根基假如

①工艺與布局零部件:两者營業较為類似,毛利率變革趋向一致,斟酌到海內装备廠成长敏捷,公司內销比例逐年增长,而因為一方面公司外销產物更加高端,附加值更高,另外一方面供應海內廠商時接管優惠報價,是以內销毛利率较低,是以咱們估计2022/2023/2024年该營業毛利率逐年小幅降低。咱們2022/2023/2024工艺零部件毛利率為33.5%/33%/32.5%,布局零部件毛利率為32%/31%/30%;

②气體管路:公司气體管路產物在2020和2021年經由過程重要客户验證,毛利率趋于不乱,是以咱們假如将来毛利率相较2021年連结不變成34%;

③模组產物:一方面,公司范围效應渐渐晋升,另外一方面,公司用于较低毛利率的非半导體装备范畴的產物比例逐年低落,是以毛利率呈逐年上升态势,咱們估计将来陪伴范围效應和產物布局優化,公司毛利率将继续連结稳健增加态势,2022/2023/2024年别离為24%/25%/26%。

此外,咱們估计其他營業毛利率連结和2021年稳定,综上所述,咱們認為2022/2023/2024公司毛利率别离為32.2%/31.8%/31.3%。

二、估值阐發

公司主營營業機器類的半导體装备紧密零部件,咱們拔取主營營業中一样包括半导體装备紧密零部件的上市公司華亚智能、新莱應材、汉钟精機、江丰電子、正帆科技作為可比公司。因為富創紧密和可比公司均實現不乱红利,是以咱們拔取相對于估值法中的PE估值。

可比公司對應22/23/24年的PE估值均匀值為44.97/31.48/23.59倍,公司本次新股刊行代價為69.99元,依照刊行後总股本2.09亿股计较,對應咱們22/23/24红利展望的PE為70.67/47.50/28.70倍,高于可比公司。

斟酌到其他公司半导體零部件占比相對于较低,而富創紧密半导體装备零部件收入占比靠近90%而且在不竭增长,估计相较可比公司估计收入和利润增速更快,是以估值高于可比公司具有必定公道性,存眷上市後的表示。

三、危害提醒

1)宏觀經濟及行業颠簸危害。

公司所处半导體装备紧密零部件行業,受半导體装备廠商、晶圆廠和终端消费市場的需求颠簸影响较大。

若将来宏觀經濟產生周期性颠簸,致使计较機、消费電子、收集通訊、汽車電子、物联網等终端消费市場需求降低,半导體装备廠商、晶圆廠将面對產能多余,继而大幅減少資赋性付出,终极大幅影响公司收入。

因為公司為本錢及技能密集型企業,本錢及延续研發投入较大,若定单和產能操纵率大幅下滑,公司事迹亦可能大幅下滑。同時,在半导體行業景气宇晋升的周期,公司必需包管產能產量以知足客户需求。

若公司不克不及實時應答客户需求的快速增加,或對需求增加的時代或幅度果断毛病,可能會致使公司落空既有或潜伏客户,進而會對公司的營業、谋划功效、財政状态或現金流量發生晦气影响。

2)行業竞争加重的危害。

基于半导體装备紧密零部件行業本錢及技能密集的特色,若公司不克不及加强技能储蓄、提高谋划范围、加强本錢气力,在行業全世界化竞争中,可能致使公司市場竞争力降低、谋划事迹下滑;

3)研發/验證希望不及预期。

遵守“一代技能、一代工艺、一代装备”的纪律,半导體装备和半导體装备紧密零部件必需紧跟下流需求不竭研發進级。今朝晶圆制造和半导體装备已向7纳米及更先辈的工艺制程演進,對公司的研發能力不竭提出更高請求。

别的,對付统一代工艺制程,半导體装备企業也會不竭進级產物,提高晶圆制造效力,公司须實時研發相匹配的紧密零部件或對原有產物延续優化。若公司產物研發不克不及實時知足客户工艺制程演進,不克不及紧跟客户產物的更新迭淡斑藥膏,代,公司的行業职位地方和将来谋划事迹将遭到晦气影响;

4)首件研制的危害。

公司成為客户的及格供给商,一般必要完成質量系统認證、特种工艺制程認證、首件認證等環節,方可具有為客户量產特定首件的資历,認證周期较长。

公司一般综合果断首件研举事度、研發本錢、產物市場遠景和竞争敌手等身分,選擇承接首件研制使命。

若首件研制失败,或研發的首件在技能、機能和本錢等方面不具有竞争上風、或未能優先選擇具备较好市場遠景、高附加值的首件產物、或搭配公司首件的客户產物未能得到足够晶圆廠定单,都可能對公司延续谋划發生晦气影响;

5)對大客户A依靠的危害。

公司积年營收占比最大的是美國客户A,公司第一大客户贩賣占比力高可能致使公司在贸易會商中处于晦气职位地方,且公司谋划事迹與客户A采購需求紧密亲密相干。若客户A需求變革或寻觅替换供给商,或美國當局對客户A的采購設置特定商業壁垒,将對公司出產谋划發生晦气影响;

6)技能人材流失與焦點技能泄密的危害。

研發團队是公司連结竞争力的關頭身分。截至2021年12月31日,公司共有研發职員225名,占公司全数員工比例為20.68%。跟着市場需求不竭增加、行業竞争日趋剧烈,公司需持久保持技能人材充沛、步队不乱以連结市場竞争力。

若没法延续為技能人材供给更具竞争力的薪酬待遇和成长平台,公司将面對技能人材流失的危害。同時,公司存在因技能人材流失、員工事情疏漏、外界盗取等缘由致使焦點技能泄密的危害,這可能會致使公司竞争力削弱,進而對公司的谋划和成长造成晦气影响。

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